产品介绍
本纯化器采用XX流程对氩气、氦气进行纯化，原料氩气、氦气进入纯化器后，经过高温GETTER反应器将氩气、氦气中的H₂O，O₂，CO，CO₂，CH₄，N₂,NMHC等杂质脱除至1ppb以下，流经冷却系统降至常温再进入低温GETTER反应器将H₂杂质脱除。

XX流程

工艺流程
高温吸气剂脱除CO₂、O₂、N₂、CO、THC、H₂O
低温吸气剂脱除H₂
吸气反应器吸附饱和后无法再生，整体更换

应用领域
半导体、LED、激光、太阳能光伏行业
光纤行业
焊接行业
集成电路制造行业
高纯气体分析

产品特点
1.超高精度净化
★ 专利催化剂技术，化学吸附双效协同，杂质深度≤1 ppb。
2.高稳定性设计
★ 采用国际知名品牌元件；Swagelok全自动轨道焊接 ，采用先进的防爆策略，确保装置安全、稳定运行
3.强抗波动性能
★ 按协议值120%冗余设计，工况波动下气态指标稳定输出。
4.抗意外能力强
纯化装置具有断电保持功能。
5.智慧物联运维
★ 全流程自动运行+远程监控
★ 故障预警联动+运行数据追溯系统

技术参数